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激光打孔 vs 激光诱导刻蚀,谁才是TGV玻璃加工的王者?
2025年05月28日 09:21   浏览:155   来源:小萍子
本文比较了在TGV玻璃打孔用激光打孔和激光诱导刻蚀的区别。


为什么TGV的玻璃通孔有的是直接打孔,有的又需要刻蚀?有什么区别?

除了激光,玻璃打孔的方式还有哪些?

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制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式,见下表:

方法
原理说明
1. 喷砂
高速喷射磨料颗粒撞击玻璃表面,反复冲刷凿出通孔
2. 机械钻孔
使用微型硬质钻头(如金刚石)机械旋转钻入玻璃
3. 干法刻蚀
采用等离子体或离子束对玻璃进行各向异性刻蚀
4. 湿法腐蚀
使用HF化学蚀刻玻璃内部结构
5. 聚焦放电
高压放电产生局部高温,击穿玻璃形成孔洞


使用激光打孔的好处?

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1,激光可实现高精度定位,孔位误差小;无需掩膜或钻头;能加工微米级孔径(<10 µm),也可根据功率调整孔深/孔径比。

2,通过参数调节、聚焦控制可实现高密度阵列孔。

3,可实现批量自动打孔,加工速度快;适合大尺寸面板化封装工艺

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