EBR（Edge Bead Removal，边缘去胶） 是半导体制造工艺中用于去除 晶圆边缘光刻胶（Photoresist, PR） 的关键技术。它的主要目的是消除晶圆边缘由于旋涂（Spin-Coating）光刻胶时形成的 Edge Bead（边缘堆积），以防止后续工艺（如光刻、刻蚀、沉积）受到污染或影响。

1. 为什么需要 EBR？

在光刻工艺中，光刻胶是通过旋涂（Spin-Coating）均匀覆盖在晶圆表面的。然而，由于离心力的作用，晶圆边缘往往会出现光刻胶的 边缘堆积（Edge Bead），如果不去除，可能会导致以下问题：

• 影响曝光和显影：边缘堆积的光刻胶可能会导致光刻图案畸变，影响精度。

• 影响刻蚀和沉积：如果边缘的光刻胶未被去除，在刻蚀时可能导致不均匀刻蚀，或者在沉积过程中形成颗粒污染。

• 影响晶圆搬运：晶圆边缘的光刻胶可能会在搬运过程中剥落，造成颗粒污染。

• 影响后续封装（Packaging）：未去除的光刻胶可能会影响后续封装工艺的粘附性和可靠性。

因此，在光刻完成后，通常会进行 EBR 处理，去除晶圆边缘的光刻胶，以保证后续工艺的稳定性。

2. EBR 的工作原理

EBR 通过 化学溶剂喷洒或等离子去除 的方式，去除晶圆边缘的光刻胶，具体方法如下：

(1) 溶剂喷洒（Solvent-Based EBR）

• 采用 专用 EBR 设备，使用 溶剂喷嘴（Nozzle），沿着晶圆边缘 选择性喷洒溶剂（如丙酮、NMP 等），溶解并去除光刻胶。

• 这种方法适用于正性光刻胶和负性光刻胶，且不会影响晶圆中央的光刻图案。

优点：

✅ 工艺成熟，易于控制。

✅ 适用于大多数光刻胶材料。

✅ 去胶后不会影响光刻精度。

缺点：

❌ 可能产生溶剂污染，需要额外的清洗步骤。

❌ 可能存在溶剂挥发和环境影响。

(2) 干法去胶（Dry EBR / Plasma EBR）

• 使用等离子（Plasma）或氧化处理（O₂ Ashing）去除晶圆边缘的光刻胶。

• 通过等离子体轰击，使光刻胶分解并去除。

优点：

✅ 无化学溶剂污染，环保。

✅ 适用于高精度工艺（如 EUV 光刻）。

缺点：

❌ 设备成本较高。

❌ 处理时间较长。

3. EBR 的应用场景

EBR 主要应用于以下半导体制造步骤：

• 光刻前处理（Lithography）：去除 Edge Bead，防止曝光和显影缺陷。

• 刻蚀（Etching）前处理：防止晶圆边缘残胶影响刻蚀均匀性。

• 薄膜沉积（CVD、PVD）前处理：防止光刻胶在沉积过程中剥落，造成颗粒污染。

• 封装工艺（Packaging）：确保晶圆边缘干净，提高封装可靠性。