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封装陶瓷基板的应用
2026年01月10日 10:17   浏览:143   来源:小萍子

封装陶瓷基板的应用


一、陶瓷基板性能与检测

    目前,陶瓷基板性能检测尚无国家或行业标准。其主要性能包括基板外观、力学性能、热学性能、电学性能、封装性能 (工作性能)和可靠性等。
a.外观检测:陶瓷基板外观检测一般采用肉眼或显微镜,检测基板表面是否有裂缝、孔洞,金属层表面是否有气泡、脱层、划痕或污渍等质量缺陷。此外,陶瓷基板尺寸、基板平整度 (翘曲)、金属线路层厚度与表面粗糙度、线宽与间距等都是需要重点检测的内容。
b.力学性能:平面陶瓷基板力学性能主要指金属线路层结合强度,表示金属层与陶瓷基片间的粘接强度,直接决定了后续器件封装质量 (固晶强度与可靠性等)。不同方法制备的陶瓷基板结合强度差别较大,通常采用高温工艺制备的平面陶瓷基板 (如TPC、DBC等),其金属层与陶瓷基片间通过化学键连接,结合强度较高;而低温工艺制备的陶瓷基板 (如DPC基板),金属层与陶瓷基片间主要以范德华力及机械咬合力为主,结合强度偏低。常用结合强度测试方法包括:
(1)胶带法:将3M胶带紧贴金属层表面,用橡皮滚筒在上面滚压,以去除粘接面内气泡。10 s后用垂直于金属层的拉力使胶带剥离,检测金属层是否从基片上剥离,属于一种定性测试方法。
(2)焊线法:选用直径为0.5 mm或1.0 mm的金属线,通过焊料熔化直接焊接在基板金属层上,随后用拉力计沿垂直方向测量金属线抗拉力。
(3)剥离强度法:将陶瓷基板表面金属层蚀刻 (划切)成5 mm×10 mm 长条,然后在剥离强度测试机上沿垂直方向撕下,测试其剥离强度。要求剥离速度为50 mm/min,测量频率为10次/s。

二、应用

1.电力电子器件封装  

   自20世纪50年代至今,电力电子器件经历了从晶闸管到GTR/GTO/MOSFET,再到绝缘栅双极晶体管(Insulated-Gate Bipolar Transistor, IGBT)的演进过程。与前两代产品相比,以IGBT为代表的第三代电力电子器件具备工作频率高、功率容量大、开关速度快等优势,在国防军事、航天航空、电动牵引、轨道交通、新能源汽车及家用电子设备等领域得到了广泛应用。由于IGBT输出功率较高,工作时产生大量热量,若散热不良将导致芯片损坏,因此散热成为IGBT封装的技术关键,必须采用陶瓷基板以增强散热能力,如图所示。目前,IGBT封装主要采用直接键合陶瓷(DBC)基板,原因在于DBC基板的金属线路层较厚(通常为100 μm~600 μm),具有载流能力强、耐高温性能好及可靠性高等特点。


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 (a)IGBT模块及 (b)采用DBC基板封装IGBT模块

2 激光器 (LD)封装

   LD是受激辐射的半导体器件,广泛应用于工业、军事、医疗和3D打印等领域,如图(a)所示。目前国际上90 μm~100 μm单管9××nm器件商用产品输出功率在12 W~18 W之间,实验室水平可达20 W~25 W。由于LD电光转换效率约为50%~60%,工作时大量热量集中在有源区,导致结温升高,引发腔面灾变性光学损伤或饱和现象,严重限制LD输出功率和使用寿命。此外,热膨胀系数不匹配导致器件内部产生热应力,输出光在快轴方向呈非线性分布,给光束准直、整形及光纤耦合带来极大挑战,是阻碍高功率激光器广泛应用的主要因素之一。因此,在LD封装中必须采用导热性能良好、热膨胀系数匹配的陶瓷基板。由于AlN陶瓷具有热导率高、热膨胀系数低等优点,因此LD封装普遍使用AlN陶瓷基板,如图(b)所示。倪羽茜等人采用AlN和SiC两种陶瓷制成三明治型热沉实现了大功率LD单管高功率输出,模拟分析和实验结果显示,SiC和AlN材料制备的陶瓷基板热阻分别为1.19 K/W和1.30 K/W,二者在15 A时输出功率分别为13.1 W和16.3 W,峰值电光转换效率分别为63.9% 和68.3%。



 

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(a)蓝光LD器件及 (b)采用DBC基板封装LD结构示意图



3.热电制冷器 (TEC)封装

   热电制冷片 (Thermoelectric Cooler,TEC)是一种常用的半导体制冷器件,其工作原理为帕尔贴效应,其样品如图(a)所示,结构示意图如图(b)所示。热电制冷技术优势明显,主要表现在:(1)无运动部件,无噪声,无磨损、寿命长,易于调控,可靠性高;(2)不使用制冷剂,无泄漏,对环境无污染;(3)制冷器尺寸小,重量轻,适合小容积、小尺寸等特殊环境电子器件散热。由于热电制冷效率与半导体粒子数量呈正相关,单位面积粒子数量越多,热电制冷效率越高。DPC陶瓷基板图形精度高,可提高粒子布置密度,从而有效提高热电制冷效率。


4.发光二极管 (LED)封装

    发光二极管(LED)与激光器(LD)类似,也是一种基于电光转换的半导体功率器件。LED具有电光转换效率高、响应速度快、使用寿命长及节能环保等优势,目前已广泛应用于通用照明、信号指示、汽车灯具和背光显示等领域。随着LED技术的不断发展,芯片尺寸和驱动电流持续增大,LED模组的功率密度也随之提高,散热问题日益突出。


     大功率LED封装基板的演进主要经历了三个阶段:金属支架、金属基板和陶瓷基板。得益于陶瓷基板所具有的高绝缘性、高导热性、耐热性及低热膨胀系数等优异特性,尤其是采用垂直通孔技术的直接镀铜陶瓷基板,可有效满足倒装共晶、板上芯片封装、芯片尺寸封装等技术在白光LED封装中的应用需求,如图所示。


    对于紫外LED模组,采用三维结构陶瓷基板能够同时满足其高效散热与气密封装要求,如图所示。


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 白光LED模组及其陶瓷封装示意图

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 紫外LED模组及其封装结构图


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