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晶圆厂为什么常用IPA而不用酒精？

2025年05月16日 10:37 浏览：160 来源：小萍子

本文主要讲述晶圆厂为什么常用IPA清洗而不用酒精。

在12吋/8吋 fab中，是严禁使用乙醇酒精做主清洗剂的，为什么？

IPA在晶圆厂中的应用？

IPA是异丙醇，主要用于晶圆清洗，刻蚀，设备装机，PM等。几乎出现在晶圆厂各个区域中。

异丙醇与酒精的性质对比？

为什么用IPA不用酒精？

1，SEMI G5 级 IPA 的纯度水平通常超过 99.9999%（六个九的纯度）,而乙醇几乎无法从共沸物中提取完全无水状态，常为“分析纯/试剂级”，天生难达晶圆级的超净标准。

2，IPA挥发速度适中，能在表面均匀蒸发，不易形成“干斑”或水痕；与 DI水形成 azeotrope（共沸物），适合 Marangoni 干燥。

3，IPA的极性比乙醇略低，与有机溶剂（NMP，ACE等）、光刻胶残留等相容性更好。

那酒精真的不能用吗？

并非绝对不能用，但通常在以下情况中才会用到：

低端或实验用玻璃器具清洗；

实验室级封装前初步擦拭；

PCB行业；

需要临时清洗但不要求电子级纯度的情况。

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