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SK海力士工艺再升级 六氟化钨(WF6)替代方案全面推进
昨天 14:56   浏览:311   作者:小萍子

气体圈子讯:据媒体报道,SK海力士已完成375层3D NAND 闪存的生产验证工作,眼下正推进产线落地。按照SK海力士的技术路线,未来还将持续迭代,依次推出480层、604层产品。

本次主要是对清州M15工厂现有产线(目前主要生产176层、238层、321层等中低层数NAND产品)进行改造升级,改造后将全面切换为375层产品生产线,该产品计划在今年年底前正式量产。

随着存储工艺朝着更高阶演进,其内部材料也发生了更迭。此次迭代最大的技术亮点,在于使用钼前驱体材料替代六氟化钨制作字线

钼被认为是一种能够弥补钨局限性的材料。随着层数的增加,布线会变得更细;然而,钨线变细的同时,其电阻也会增大,从而降低信号传输速度。

在微型化的字线结构中,钼的电阻可以低于钨,从而实现更快的信号传输。这意味着可以提高数据的写入和擦除速度。尤其值得注意的是,钨需要在填充前铺设一层阻挡辅助层。由于这层辅助层需要铺设在每一层上,因此会造成厚度损失。而钼无需辅助层即可直接填充,从而可以提高密度。 

供应链方面,液化空气集团、英特格和默克公司将向SK海力士供应钼前驱体材料。在韩国企业中,SK Specialty也被提及为潜在供应商,双方正在商讨SK Specialty借用液化空气集团的供应系统来供应钼前驱体材料的方案。SK海力士也积极推动两家公司之间的合作。

从行业层面来看,三星电子已率先落地钼前驱体材料工艺。该公司自2024年4月起量产286层第九代3D NAND,就已将钼应用在金属布线环节;其规划中的第十代400层以上3D NAND,也定于今年下半年推向市场,钼材料的应用范围还将持续扩大。

行业测算数据显示,三星去年钼前驱体材料采购量约4吨,今年预计增至10吨,后续需求还将逐年走高,预计2030年将达到80吨。SK海力士从明年开始大规模导入钼前驱体工艺,初期年采购量也将达到4吨左右。

Lam Research副总裁兼ALD/CVD金属总经理Kaihan Ashtiani曾表示:“选择金属时需要考虑很多因素,其中电阻率是最重要的因素之一。在先进芯片制造所需的原子尺寸方面,钼正成为替代钨的最合适材料。”
气体圈子从SEMICON Korea 2026展会上获悉,默克重点推介二氯二氧化钼(MoO₂Cl₂)在内的系列前驱体产品。默克韩国负责人金佑圭预测,钼前驱体将从3D NAND起步,逐步扩展至逻辑芯片、DRAM等低电阻薄膜应用领域。

气体圈子

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