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晶圆中的scribe line（划片线）和saw line（锯片线）

2025年01月02日 09:49 浏览：152 来源：小萍子

本文介绍了在晶圆制造过程中，scribe line（划片线）和saw line（锯片线）两个的概念和差异。

在晶圆制造过程中，scribe line（划片线）和saw line（锯片线）是两个非常关键的概念，它们在晶圆的后段工艺中扮演着重要的角色。为了方便理解，我们可以把晶圆比作一块大饼，而每一片芯片就像是从大饼上切下来的薄片，划片线和锯片线则是切割这些薄片的“指引”和“路径”。

Scribe Line（划片线）

定义：划片线是晶圆表面上的一系列细长的空白区域，用于将不同的芯片区域分隔开来。它不是芯片的实际电路部分，而是一个物理分割线，在晶圆上起到了划分芯片间隔的作用。

作用和特性：

物理分隔：划片线一般位于不同芯片之间，形成芯片间的间隔带。它像是一个“隔离带”，确保每个芯片可以在后续的切割过程中单独分离，而不互相干扰。

设计位置：划片线通常被设计为一个空白区域，不含电路。它的位置和宽度在晶圆的设计阶段就已经确定，以保证每个芯片在切割时能够精确分离。

便于切割：划片线为后续的切割工艺（如激光切割或锯片切割）提供了一个明确的参考，帮助晶圆在切割过程中保持准确度和一致性。

Saw Line（锯片线）

定义：锯片线是指用于通过机械切割将晶圆分割成单独芯片的实际路径。锯片线通常是由精密的锯片设备沿划片线切割出的一条痕迹，实际上是晶圆中将要进行物理分割的区域。

作用和特性：

切割路径：锯片线就是实际进行切割的区域，通常由机械锯片或者激光切割工具来完成。锯片线的宽度通常比划片线要宽，并且这条线并不包含芯片的电路部分，它的作用是提供一个明确的物理切割区域。

切割过程：锯片线所形成的区域将由后续的“锯切”工艺完成，将晶圆切割成一个个单独的芯片（也叫裸片）。这个过程需要非常精密的设备，以保证每个芯片分割出来后，依然保持电路的完整性和功能。

晶圆与芯片间的距离：通过精确控制锯片线的位置，能够确保在切割时，每个芯片之间有适当的间隔，以避免后续芯片的损伤。

划片线与锯片线的关系

功能不同，但密切配合：划片线和锯片线的主要区别在于，划片线是用来为后续切割提供物理空间或参考的设计线，而锯片线是切割芯片的实际物理路径。在生产过程中，划片线通常会引导锯片线的切割路径，使得每个芯片被精准地分割开来。

流程衔接：一般来说，划片线会作为设计参考，指引切割机器沿着合适的位置进行切割。而锯片线则是晶圆制造工艺中最终分割芯片的实际执行路径。

划片线与锯片线的宽度

划片线的宽度：通常非常窄，设计时要保证它不会影响芯片的功能和品质。它只是为了后续切割工艺提供指引，并不涉及芯片的电路部分。

锯片线的宽度：锯片线的宽度相对较宽，通常在几微米到几十微米之间，这取决于所使用的切割技术和设备。宽度越大，切割过程中的误差和损失也越大。

划片线与锯片线的优化

减少损耗：随着晶圆尺寸的不断增大，划片线和锯片线的优化变得尤为重要。如何减少每个芯片边缘的损耗，优化划片线与锯片线的设计，能够直接影响最终芯片的成品率和生产效率。

大直径晶圆的应用：为了减少边缘芯片的浪费，半导体行业逐步推动使用更大直径的晶圆。在更大的晶圆上，划片线和锯片线的设计也会相应调整，以提高芯片利用率。

总结

划片线是晶圆上用于分隔各个芯片的参考区域，它帮助在切割过程中确保芯片之间的间隔，而锯片线则是实际切割路径，决定了芯片的分割和尺寸。两者配合使用，确保晶圆能够高效、精确地分割成单个芯片，同时尽量减少物料浪费和制造误差。